氦檢漏儀，也稱為質譜檢漏儀（MSLD），用於定位和測量進入或離開係統或容器設備的泄漏。將示蹤氣體氦氣引入與檢漏儀連接的測試部分。氦氣通過測試部件泄漏進入係統，測量分壓並顯示在壓力表上。

氦檢漏儀由以下幾部分組成：。

1. 用於檢測氦質量的光譜儀。

2. 用於維持分光計壓力的真空係統。

3. 用於抽真空待測部件的機械泵。

4. 支持各種測試階段的閥門:抽真空，測試和排氣。

5. 放大器和讀出儀器，用於監測輸出信號。

6. 電源和控製。

7. 將待測零件連接到檢測器的夾具上。

       氣密封性能測試儀將根據壓差的變化來測量工件的比泄漏量，進而判斷被測工件是否合格，並將信息傳送給操作人員。由於標準產品和被測工件的形狀、尺寸相同，在測試過程中兩端的外部環境條件完全相同，這種測試方法可以消除溫度、振動等環境因素的影響，獲得高精度的測量結果。差壓式密閉儀表與直壓式檢測操作過程的不同，主要是在相同的工藝和狀態條件下，以“標準品”為參照。

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