薄膜計可分為絕對式和差壓式。把0帕定作零點標準的規稱為絕對式,把任意壓力值定作零點標準的規稱作差壓式。它的優點主要是性能穩定,精確度高,靈敏度與氣體種類無關;結構牢固、抗振動、壽命長;並可測蒸氣和腐蝕性氣體的壓力。缺點主要是預熱時間很長,可能會影響工作。

校準電容薄膜計時,應注意以下五點:

(1)傳感器調零時,首先應用標準信號將控製線路的零點和滿度調好,將溫度補償器調到所需要的位置上,測量中不可隨意變動。

(2)傳感器調零應在其預熱4小時後進行,必要時可(10～24)小時的恒溫加熱,才能使電容規達到最佳零點,也才能測得更精確。

(3)傳感器調零的位置,應比校準範圍下限低2～3個量級。如量程是1000Torr,則校準範圍是133. 3Pa～133300Pa。零點在真空係統抽到1. 3Pa 或0.13Pa位置左右時才能調節,其餘量程以此類推。

(4)調零以後,校準過程中環境溫度不能有驟然變化的現象發生。

(5)在校準過程中,避免傳感器過大的振動。